不同尺寸的納米級平臺可組成高精密的納米級模組,
并能提供優(yōu)異的穩(wěn)定性和可靠性。
如DNT-350-50-50為最苛刻的應用提供高精度運動。
由兩個DNT130L-50模組和一個DNT180L-350模組組成的組件,
該組件提供3個軸(XYZ)的運動,可用于聚焦、傳感器測試/校準、直接激光光刻和精密組裝等應用